| ●８インチクライオポンプ標準仕様表 |
シングルヘッドクライオポンプ
| 接続フランジ | VG200 | ANSI 6 | ICFφ253 | |
| 排気速度 | 窒素 | 1,700L/s | ||
| 水素 | 2,700L/s | |||
| アルゴン | 1,400L/s | |||
| 水 | 4,600L/s | |||
| 到達圧力 | 10-7Pa | |||
| 最大流量 | アルゴン | 1.5×103Pa・L/s | ||
| 排気容量 | アルゴン | 1.2×108Pa・L | ||
| 水素 | 1.2×106Pa・L | |||
| クロスオーバー | 2.0×104Pa・L | |||
| クールダウンタイム | 70min | |||
| 消費電力 | 3相 Three phase 200V 1.5／1.8kW |
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| 冷却水流量 | 2〜6L/min | |||
| ポンプ重量 | 23kg | |||
| 推奨メンテナンスインターバル | 16,000Hr | |||
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ツインヘッドクライオポンプ
| ●２２インチクライオポンプ標準仕様表 |
| 接続フランジ | VG550 | |
| 排気速度 | 窒素 | 12,000L/s |
| 水素 | 25,000L/s | |
| アルゴン | 10,000L/s | |
| 水 | 36,000L/s | |
| 到達圧力 | 10-7Pa | |
| 最大流量 | アルゴン | 3.3×103Pa・L/s |
| 排気容量 | アルゴン | 6.0×108Pa・L |
| 水素 | 1.3×107Pa・L | |
| クロスオーバー | 2.0×105Pa・L | |
| クールダウンタイム | 150min | |
| 消費電力 | 3相 Three phase 200V 3.5／4.2kW×2 |
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| 冷却水流量 | 4〜9L/min×2 | |
| ポンプ重量 | 115kg | |
| 推奨メンテナンスインターバル | 16,000Hr | |
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※掲載されている製品は改良のため予告なく仕様変更する場合もあります。
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※掲載されている製品は改良のため予告なく販売中止する場合もあります。
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