クライオポンプとは

クライオポンプは、気体分子が極低温に冷却された面に接すると凝縮される特性を応用した真空ポンプです。-263℃という極低温をつくりだし気体を凝縮固化または低温吸着することでクリーンな高真空をつくりだすことがができます。

クライオポンプの特長

排気時間を比較する場合、水の排気速度が重要なポイントです。クライオポンプは競合する油拡散ポンプやターボ分子ポンプに比べて４倍以上もの排気速度を持っているため、短時間で高真空を得ることができます。

◆高出力冷凍機の採用により長い再生間隔とクールダウンタイムの短縮を実現します。
◆特殊３相モーターの採用により、従来品の1/40の低振動を実現します。
◆メンテナンス間隔が長く、メンテナンスも簡単です。